简单的说，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
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简单的说，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
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材料纯度 |
99.99% |
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材料密度 |
90% |
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靶材形状 |
圆形靶材 |
旋转靶材 |
矩形靶材 |
拼接靶材 |
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最大尺寸 |
200mm |
Ø200×60mm |
200×200mm |
200×1000mm |
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