薄膜衬底

主要性能参数

晶系

立方晶系

生长方法

火焰法

晶格常数

a=3.905Å

掺铁浓度(Fe%)

0.005%,0.04%

熔点（℃）

2080

密度

5.122（g/cm3）

硬度

6-6.5（mohs）

热膨胀系数（/℃）

9.4×10-6

介电常数

ε=5.20

化学稳定性

在水中不溶解

热膨胀系数

10.4×10-6/k

正切损耗

~5×10-4（300k） ~3×10-4（77k）

尺寸

10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

可按照客户需求，定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.5mm、1.0mm

尺寸公差

<±0.1mm

厚度公差

<±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm）

抛光

单面或双面

晶面定向精度

±0.5°

边缘定向精度

2°（特殊要求可达到1°以内）

取向

<100>、<110>、<111>等

包装

100级洁净袋，1000级超净室