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参数:
SrTiO3晶体及基片 | |
生长方法 | 火焰法 |
晶体结构 | 立方(a=3.905Å) |
密度 | 5.175g/cm3 |
纯度 | 本征、轻掺杂、重掺杂 |
热膨胀系数 | 10.4ppm/℃ |
介电常数 | 9.8 |
晶向 | <100>、<110>、<111>±0.5o,或特殊方向 |
尺寸 | Dia30×0.5mm, 20×20×0.5mm, 15×15×0.5mm 10×10×0.5mm, 10×5×0.5mm, 5×5×0.5mm |
抛光 | 单面或双面抛光 |
表面粗糙度 | ≤5Å |
封装 | 100级超净袋、单片或多片晶元盒 |
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