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硅(Si)晶体及基片 | |
晶体结构 | 立方 |
密度 | 2.4g/cm3 |
纯度 | 本征(99.9999%)、轻掺杂、重掺杂 |
晶向 | <100>、<111>and<110>±0.5°,或特殊方向 |
尺寸 | Φ1″~8″×(0.3~200)mm |
抛光 | 单面或双面抛光 |
表面粗糙度 | ≤5Å |
封装 | 100级超净袋、单片或多片晶元盒 |
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