溅射靶材

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

溅射靶材

发布日期:2022-02-12  浏览次数:0

简单的说,靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。金属材料溅射靶材是目前应用最广的靶材。本公司提供的金属靶材是通过简单熔炼成形、磁悬浮熔炼、热等静压成型、冷等静压成型等不同工艺制备而成。产品纯度好,密度高,晶粒均匀细致,使用寿命长

简单的说,靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。金属材料溅射靶材是目前应用最广的靶材。本公司提供的金属靶材是通过简单熔炼成形、磁悬浮熔炼、热等静压成型、冷等静压成型等不同工艺制备而成。产品纯度好,密度高,晶粒均匀细致,使用寿命长。

靶材参数:

材料纯度

99.99%

材料密度

100%

靶材形状

圆形靶材

旋转靶材

矩形靶材

拼接靶材

最大尺寸

200mm

Ø200×60mm

200×200mm

200×1000mm

X

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