薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

Al2O3单晶(sapphire,又称白宝、石蓝宝石)有着很好的热特性,极好的电器特性和介电特性,并且防化学腐蚀,它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于耐高温红外窗口材料和III-V族氮化物及多种外延薄膜基片材料,为满足日益增长的蓝、紫、白光发热二极管(LED)和蓝光激光器(LD)的需要,单晶公司专业生产高质量蓝宝石晶体和外延抛光基片,为您提供高品质低价格的单晶和基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。
主要性能参数
晶系 六方晶系
晶胞常数 a=4.748Å  c=12.97Å
密度 3.98(g/cm3)
熔点 2040℃
莫氏硬度 9
热膨胀系数
7.5  (x10-6/ oC)
热导率(卡/度 厘米 秒) ⊥c //c
23℃ 0.055 26℃ 0.060
77℃ 0.040 70℃ 0.041
介电常数
~ 9.4 @300K  at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis
晶向 A-plane <11-20> 2.379A
R-plane <1-102> 1.740A
M-plane <10-10> 1.375A
C-plane <0001> 2.165A
晶向公差 ±0.5°
常规尺寸及公差 10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,
常规厚度及公差 0.5mm,1.0mm
抛光 单面或双面
表面粗糙度 Ra<5Å(5×5μm)
包装 100级洁净袋,1000级超净室
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