薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

钪酸镝(DyScO3)晶体与钙钛矿结构的超导体有很好的晶格匹配,是极佳的铁电薄膜衬底材料。


钪酸镝
生长方法 提拉法
晶体结构 正交(a=5.54Å,b=5.71Å,c=7.89Å)
密度 6.9g/cm3

纯度 99.95%

熔点2127℃

晶向 <100>、<001>、<110>±0.5o,或特殊方向
尺寸 10×10×0.5mm, 10×5×0.5mm, 5×5×0.5mm 5×3×0.5mm
抛光 单面或双面抛光
表面粗糙度 ≤10Å
封装 100级超净袋、单片或多片晶元盒



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