薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

GGG(12.373 Å)与YIG(12.376 Å)的晶格常数接近,是被广泛采用的YIG磁光薄膜的衬底材料,但为了提高磁光薄膜的磁光优值,有时需要选择晶格常数较大的衬底单晶,GSGG是GGG晶体中八面体的 2个Ga被离子半径较大的Sc取代,从而具有较大的晶格常数。上世纪80年代,由于Sc原料非常昂贵,因此采用CaMgZrGGG(12.480 Å)取代GSGG,近年来,提纯技术的进步,Sc原料价格大幅下降,具有大晶格常数的GSGG(12.554 Å)单晶衬底将越来越获得广泛的应用。
晶体结构
立方晶系
晶格常数
12.554Å
纯度
99.99%
密度
7.09g/cm3
熔点
1750℃
硬度
7.5mohs
折射率
1.95
介电常数
30
生长方法
提拉法
常规晶向
<111>±0.5°
常规尺寸
10×10×0.5mm,10×5×0.5mm,5×5×0.5mm
抛光情况
单面抛光、双面抛光
抛光面粗糙度
<5A
包装
1000级超净室,100级超净袋或单片盒封装
相关信息
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