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薄膜衬底
薄膜衬底
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薄膜衬底
发布日期:2020-04-28 浏览次数:
0
铝酸锶镧晶体从熔点温度直至低温下均无孪晶及相变,与高温超导体YBCO具有相同的结构,<001>面与其它衬底相比与YBCO<001>具有适中的晶格失配(2.5~3.5%),同时该晶体的热膨胀系数比其它钙钛矿结构的晶体低,可以在较低的温度下沉积薄膜从而改善晶格失配及减少应力。
参数:
铝酸锶镧
生长方法
提拉法
晶体结构
四方(a=3.756Å,c=12.63Å)
密度
5.92g/cm
3
纯度
99.99%
介电常数
16.8
晶向
<001>、<100>±0.5
o
,或特殊方向
尺寸
15×15×0.5mm,10×10×0.5mm 10×5×0.5mm, 5×5×0.5mm
抛光
单面或双面抛光
表面粗糙度
≤5Å
封装
100级超净袋、单片或多片晶元盒
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