薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

氧化镁(MgO)单晶基片广泛应用在多个薄膜技术领域中,是极好的单晶基片,广泛应用于制备铁电薄膜、磁学薄膜、光电薄膜和高温超导薄膜等。由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都很小,且能得到大面积的基片(直径2"及更大),所以是当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。 可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件,具有很大的现实及潜在应用市场,本公司可采用化学机械抛光制备出高品质原子级表面的基片。
主要性能参数
生长方法 弧熔法
晶体结构 立方
晶格常数 a=4.130 Å
熔点(℃) 2800
纯度 99.95%
密度(g/cm3 3.58
硬度 5.5(mohs)
热膨胀系数(/℃) 11.2x10-6
晶体解理面 <100>
光学透过 >90%(200~400nm),>98%(500~1000nm)
介电常数 ε= 9.65
热导率(卡/度 厘米 秒) 0.14  300°K
尺寸 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
厚度 0.5mm,1.0mm
抛光 单抛、双抛或细磨
晶向 <001>±0.5º
晶面定向精度: ±0.5°
边缘定向精度: 2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra: ≤5Å(5µm×5µm)
主要特点 由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都很小,且能得到大面积的基片(直径2英吋及更大),所以是当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。
主要用途 用于制作磁学薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜等,也可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件。
包装 100级洁净袋,1000级超净室
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