薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

掺钕钛酸锶与钛酸锶单晶具有相似的结构。目前我们可以提供掺铁浓度为:0.05%。0.05%的Nd:SrTiO3的单晶基片

主要性能参数

晶系

方晶系

生长方法

火焰法

晶格常数

a=3.905Å

掺钕浓度(Nd%)

0.05

熔点(℃)

2080

密度

5.122(g/cm3

硬度

6-6.5mohs

热膨胀系数(/℃)

9.4×10-6

介电常数

ε=5.20

化学稳定性

在水中不溶解

热膨胀系数

10.4×10-6/k

正切损耗

~5×10-4300k~3×10-477k

尺寸

10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.5mm、1.0mm

尺寸公差

<±0.1mm

厚度公差

<±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm)

抛光

单面或双面

晶面定向精度

±0.5°

边缘定向精度

2°(特殊要求可达到1°以内)

取向

<100>、<110>、<111>等

包装

100级洁净袋,1000级超净室

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