薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

掺铌钛酸锶与钛酸锶单晶具有相似的结构,但Nb:SrTiO3具有导电性。掺铌钛酸锶的电阻在0.1-0.001W-cm之间变化随掺铌浓度在0.1-0.001wt%之间不同,传导的单晶基片为薄膜和器件提供了电极。

主要性能参数

Nb:SrTiO3 级别

A

B

C

D

Nb 浓度(wt%)

1.0

0.7

0.5

0.1

电阻率 ohm-cm

0.0035

0.0070

0.05

0.08

迁移率 cm2/vs

9.0

8.5

8.5

6.5

特点

Nb:SrTiO3SrTiO3单晶具有相似的结构,但NSTO具有导电性。电阻率范围在0.1~0.001wt%之间不同。传导的单晶基片为薄膜和器件提供了电极。

尺寸

10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

Ф15,Ф20,Ф1″,

厚度

0.5mm,1.0mm

抛光

单面或双面

晶向

<100>  <110>  <111>

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

2°(特殊要求可达1°以内)

斜切晶片

可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片

Ra:

≤5Å(5µm×5µm)

包装

100级洁净袋,1000级超净室

X

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