薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-26  浏览次数:0

SrTiO3单晶具有钙钛矿结构材料所具备的良好晶格结构,对于HTS的外延生长和多数氧化物薄膜,它是一种优秀的衬底材料,已被大量应用于高温超导薄膜的研究,同时还广泛应用于特殊光学窗口及高质量的溅射靶材。

参数:

SrTiO3晶体及基片
生长方法 火焰法
晶体结构 立方(a=3.905Å)
密度 5.175g/cm3
纯度 本征、轻掺杂、重掺杂
热膨胀系数 10.4ppm/℃
介电常数 9.8
晶向 <100>、<110>、<111>±0.5o,或特殊方向
尺寸 Dia30×0.5mm, 20×20×0.5mm, 15×15×0.5mm 10×10×0.5mm, 10×5×0.5mm, 5×5×0.5mm
抛光 单面或双面抛光
表面粗糙度 ≤5Å
封装 100级超净袋、单片或多片晶元盒
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