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薄膜衬底
薄膜衬底
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薄膜衬底
发布日期:2020-04-26 浏览次数:
0
用作半导体材料,大功率晶体管,整流器,太阳能电池等。我们可提供本征、轻掺杂、重掺杂,带有100-1000nm氧化层和带有1-100um外延层的Si片。
硅(Si)晶体及基片
晶体结构
立方
密度
2.4g/cm
3
纯度
本征(99.9999%)、轻掺杂、重掺杂
晶向
<100>、<111>and<110>±0.5°,或特殊方向
尺寸
Φ1″~8″×(0.3~200)mm
抛光
单面或双面抛光
表面粗糙度
≤5Å
封装
100级超净袋、单片或多片晶元盒
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