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薄膜衬底
薄膜衬底
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薄膜衬底
发布日期:2019-11-07 浏览次数:
0
钪酸铽(TbScO3)单晶与钙钛矿结构的超导体有很好的晶格匹配,是极佳的铁电薄膜衬底材料。
钪酸铽晶体
生长方法
提拉法
晶体结构
正交(
a=12.355Å,b=5.7233A,c=709147A)
密度
7.13g/cm3
纯度
99.95%
热膨胀系数
9.4×10-6/℃
晶向
<111>±0.5
尺寸
5×5×0.5mm、10×5×0.5mm 10×10×0.5mm等
抛光
单面或双面抛光
表面粗糙度
≤5Å
封装
100级超净袋、单片或多片晶元盒
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